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利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备

836   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 04:59:35
一种利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备方法。该方法包括:根据应用场合的具体需求,设计声表面波器件版图,将待印刷的版图制成用于丝网印刷的掩膜板;采用导电银浆作为墨水,以抛光的压电材料基片作为基材,按照给墨、刮墨和收墨的顺序进行印刷;然后将印刷完毕的产品放入红外烤箱内,逐渐加热到130℃~150℃,并逐渐降温至室温,使得液体银墨水能够烧结为固体,并具有良好的导电性即可。本发明与传统微电子光刻工艺形成强烈对比的显著优势包括:1.生产设备的成本低;2.生产过程的工艺简便,成本也很低;3.制备过程中不产生废液和废气,更加环保;4.易于实现大规模生产。
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“利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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