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太阳能电池硅片的清洗方法

938   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 05:46:55
本发明公开了一种太阳能电池硅片的清洗方法,包括步骤:采用臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗,使硅片表面产生氧化层;采用氢氟酸溶液对硅片进行表面腐蚀处理;对硅片进行漂洗。本发明清洗方法先以臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗,能够有效地氧化硅片表面沾污的有机物污质,并氧化硅片表面形成氧化膜;然后通过氢氟酸溶液对硅片进行腐蚀清洗,去除表面的金属污质,并腐蚀掉表面的氧化膜,在腐蚀掉表面氧化膜的同时去除了表面污质,从而实现对硅片表面的清洗。本发明清洗方法中采用臭氧水溶液,臭氧水溶液与表面有机物污质反应产生CO2和H2O,对人体无危害性,且臭氧水溶液产生的废液对环境污染小,不需要进行特殊处理。
声明:
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