提供一种用于
多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置,包括废液储罐、高低沸处理精馏塔、脱轻精馏塔、四氯化硅提纯塔、混合器以及反歧化装置,废液储罐通过废液输送泵与高低沸处理精馏塔连接,高低沸处理精馏塔塔顶与脱轻精馏塔连接,脱轻精馏塔塔顶通过二氯二氢硅输送泵与混合器连接,高低沸处理精馏塔塔釜与四氯化硅提纯塔连接,四氯化硅提纯塔塔顶通过四氯化硅输送泵与混合器连接,混合器与反歧化装置连接,反歧化装置与废液储罐连接。本实用新型能够对多晶硅生产的废液中的二氯二氢硅循环回收转化,有效减少由于废液外排而造成的价值损失,提高了物质的回收利用率,降低废液处理的危险性,本实用新型能量消耗少,设备数量少,制造成本低。
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“用于多晶硅生产中含二氯二氢硅废液的回收利用装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)