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拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用

830   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:45
本发明公开了一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用,属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和拉曼光谱仪,所述化学气相沉积系统包括高温炉,所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管,所述三通炉管设有上方开口,上方开口的正下方设置有载样台,所述三通炉管的上方开口密封连接光学镜片;所述拉曼光谱仪的探头垂直对准三通炉管中置于载样台上的基底。本发明通过设置三通炉管的上方开口为透射窗口,以供光信号通过,使拉曼光谱仪实时监控化学气相沉积进程,进而通过分析拉曼光谱数据对样品制备的生长参数进行调控,制备样品过程更加灵活可控,有效提高了样品生长的效率。
声明:
“拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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