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化学气相沉积系统

1196   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:48
本实用新型实施例提供一种化学气相沉积系统。本实用新型实施例所述的化学气相沉积系统包括依次连通的蒸发室、裂解室、沉积室、冷阱以及抽真空装置,并在蒸发室中设置压力检测装置和第一温度检测装置,通过获取并控制蒸发室的压力和温度来控制沉积压力,能够实现控制沉积压力的即时性。
声明:
“化学气相沉积系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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