合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械研磨模拟方法

化学机械研磨模拟方法

1105   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:58:11
本发明公开了一种化学机械研磨模拟方法,包括建立化学机械研磨模型,并格式化为与化学机械研磨结果对应的线宽对数‑密度矩阵表格,对版图进行窗格划分,将每个窗格版图的等效线宽、密度转换为模型表格中的线宽对数‑密度坐标,根据每个窗格在模型表格中的坐标位置和与其相邻的表格交点所对应的化学机械研磨结果,计算出每个窗格初步的化学机械研磨模拟结果,并考虑版图上周围窗格对当前窗格的影响,根据相关的权重因子,计算出每个窗格最终的化学机械研磨模拟结果并输出;可在保证产品模拟预测结果准确性的基础上,大幅提升对化学机械研磨工艺的模拟速度,及时检查出化学机械研磨工艺设计热点,缩短产品生产周期。
声明:
“化学机械研磨模拟方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 小知识 | 金属钼了解一下 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 金属百科 | 锑的历史与发展 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 原来他们都是中南大学杰出校友! 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记