合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学气相沉积的晶片及薄膜温度的控制系统及其方法

化学气相沉积的晶片及薄膜温度的控制系统及其方法

1088   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:02:29
本发明是关于一种化学气相沉积的晶片及薄膜温度的控制系统及其方法。该系统包括:承载盘绕着中心轴旋转,该承载盘包含多个晶片承载器分别承载晶片并进行自转。工艺气体靠近该晶片的第一表面经加热反应形成薄膜沉积在该第一表面上。均热板设置于相对该晶片第一表面的第二表面。一个或多个温度测量器用于获得该均热板相对于该晶片的反面温度。以该反面温度推测该晶片的晶片端温度。本发明可避免晶片端温度的测量受到工艺的干扰。
声明:
“化学气相沉积的晶片及薄膜温度的控制系统及其方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2025年锂电池行业十大变革性技术 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 原来他们都是中南大学杰出校友! 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.233274s