合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室

用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:13:10
用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室属于半导体制造设备设计技术领域。包括上盖、匀气盘、腔体、可替换内衬、内衬支架、基座、排气装置、流场检测空间以及气压检测引管,所述流场检测空间为圆柱形,圆柱体的直径可通过更换所述可替换内衬进行调节,圆柱体的高度可通过基座的升降进行调节,进而改变所述流场检测空间的结构尺寸。该结构可用于进行刻蚀、等离子体增强/化学气相沉积(PE/CVD)、物理气相沉积(PVD)以及氧化扩散工艺等具有腔室类共同特点的低压气相加工工艺试验。可以检测不同结构腔室内部空间及各气路上的压力参数,研究低压气相加工工艺中各项参数的影响规律,并可显著提高IC装备腔室部件优化设计的可信度。
声明:
“用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 金属百科 | 锑的历史与发展 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 钨矿——工业之基,战争金属之王
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记