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晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备

839   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:13:10
本发明公开了一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法,包括以下步骤:获取晶圆正常放置的标准图像;对标准图像预处理,获取晶圆正常放置的标准图像轮廓;获取标准图像轮廓的参数;获取待测图像;对待测图像预处理,判断是否存在晶圆,若存在晶圆则获取待测图像轮廓;获取待测图像轮廓的参数;将待测图像轮廓的参数与标准图像轮廓的参数作比较,判断其差值是否在设定范围内,若差值超过设定阈值,则判断为晶圆倾斜。本发明还公开了一种晶圆清洁干燥模组状态检测装置。本发明还公开了一种化学机械平坦化设备。本发明实现了晶圆有无和晶圆是否倾斜的实时检测,检测准确率高,检测时间短。
声明:
“晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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