合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 抛光垫及其监测方法和监测系统

抛光垫及其监测方法和监测系统

778   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:24:15
一种抛光垫及其监测方法和监测系统,其中抛光垫包括:底层以及位于底层表面的抛光层;位于底层表面与抛光层同层的多个标示件,用于标示抛光层的消耗,标示件的材料与抛光层的材料相同。本发明通过设置在底层表面与抛光层同层的标示件表示抛光层的消耗情况。在进行化学机械研磨的过程中,获取标示件的标示图形,并通过比较标示图形与临界图形判断抛光层的消耗情况。在表示抛光层已磨损的标示件的数量达到预设值时,判断抛光垫需更换。本发明通过对标示件的监测实现了对抛光层消耗情况的监测,实现了根据抛光垫的消耗情况决定是否需要更换抛光垫,从而提高了抛光垫使用寿命判断的准确性,进而提高了晶圆抛光的质量,提高了器件制造的良品率。
声明:
“抛光垫及其监测方法和监测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 有色金属:六种战争金属性能详解 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.340727s