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自支撑高增益柔性硅基光电探测器的制备方法

1125   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:47
本发明涉及一种自支撑高增益柔性硅基光电探测器的制备方法,通过化学腐蚀对单晶硅进行减薄使之具有柔韧性,并在柔性单晶硅表面制备具有准周期微锥结构的过饱和掺杂层,以此形成柔性黑硅。再经过退火处理激活黑硅层中的掺杂元素,极大提高了柔性单晶硅的吸收率并拓展了其光谱吸收范围。该柔性硅基光电探测器工作在反偏电压下,吸收光子产生光生电子‑空穴对,在外电场作用下分离,最终被电极收集后形成光电流,从而实现了光探测。本发明具有工艺简单,原材料易获取,易操控等优点,本发明所制备的柔性硅基光电探测器一方面实现了自支撑,另一方面实现了低偏压下高增益及宽谱的特性,并克服了有机柔性光电探测器响应时间较长的缺点。
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“自支撑高增益柔性硅基光电探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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