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硫离子注入纳米金刚石-石墨烯复合薄膜电极及其制备方法

937   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:54:07
本发明提供了一种硫离子注入纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜,本发明利用热丝化学气相沉积在单晶硅衬底上制备纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜,对制备出的复合薄膜进行硫离子注入,并对注入后的复合薄膜进行真空退火处理,即得到SNCD‑G复合薄膜,该复合薄膜具有优异的电化学活性、极低的背景电流和较宽的电势窗口,十分有利于应用在高精度的痕量检测领域。
声明:
“硫离子注入纳米金刚石-石墨烯复合薄膜电极及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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