合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法

带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法

1125   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:14:37
本发明提供一种在保证高灵敏度的同时获得低温度系数、可同时实现压力和温度测量的带温度传感器多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法。它是由单晶硅硅杯、绝缘层、多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻组成的,单晶硅硅杯连接绝缘层,绝缘层连接多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻。单晶硅硅杯包括感压膜和周边固支结构,感压膜位于单晶硅硅杯上部,周边固支结构位于单晶硅硅杯两边。由单晶硅通过腐蚀制作单晶硅硅杯,利用化学气象淀积法在单晶硅硅杯的上部淀积一层二氧化硅或氮化硅作为绝缘层,将压力测量单元和温度测量单元集成在一个芯片上,能够同时实现压力和温度的测量,减小芯片面积,降低成本。
声明:
“带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 有色金属:六种战争金属性能详解 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记