合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 精确控制线宽的浅槽隔离工艺

精确控制线宽的浅槽隔离工艺

1204   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:14:38
本发明公开了一种精确控制线宽的浅槽隔离工艺,该方法包括如下步骤:第1步,在硅片表面涂光刻胶,曝光显影后露出刻蚀窗口;第2步,测量刻蚀窗口之间的线宽;第3步,在刻蚀窗口刻蚀氮化硅、氧化硅和部分硅;第4步,干法等离子体去除光刻胶;第5步,湿法化学剥离光刻胶;第6步,测量浅槽隔离结构之间的线宽;本发明的创新之处在于,在第3步和第4步之间增加一步:采用各向同性刻蚀工艺在刻蚀窗口刻蚀氮化硅、氧化硅和部分硅。本发明可以精确控制浅槽隔离工艺的特征尺寸,减少对光刻CD的精度要求,消除光刻返工,从而降低生产成本。
声明:
“精确控制线宽的浅槽隔离工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 金属百科 | 锑的历史与发展 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2025年锂电池行业十大变革性技术 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 金属材料在芯片工艺上的作用
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.166907s