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SiC外延层的制备方法及装置

1082   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:23:07
本发明提供一种SiC外延层的制备方法及装置,其中制备方法包括以下步骤:提供一SiC衬底,并将SiC衬底放入一反应腔室中;向反应腔室通入反应气体及掺杂气体,使反应气体及掺杂气体吹向SiC衬底表面,且反应气体及掺杂气体的气流方向垂直于SiC衬底表面;加热SiC衬底,并采用化学气相沉积法在SiC衬底表面生长SiC外延层;采用光波监测系统监测正在生长的SiC外延层的掺杂浓度,并根据监测到的掺杂浓度控制通入的掺杂气体的气体流量。本发明将反应气体及掺杂气体垂直吹向SiC衬底表面,并可采用光波监测系统实时监测掺杂浓度,从而在所述SiC衬底表面获得厚度均匀性及掺杂浓度均匀性均较高的SiC外延层,实现对掺杂浓度的精确控制,获得高产率、高性能的SiC外延层。
声明:
“SiC外延层的制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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