合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 离线监控介电层沉积工艺对铜电阻的影响的方法

离线监控介电层沉积工艺对铜电阻的影响的方法

949   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:28:34
本发明公开了一种离线监控介电层沉积工艺对电阻的影响的方法,包括:步骤S1,在裸硅片上沉积保护层;步骤S2,在所述保护层的表面生长一铜层;步骤S3,利用化学机械研磨工艺对铜层进行减薄;步骤S4,测试研磨后的铜层电阻并作为前值电阻;步骤S5,将测试后的硅片进行待测试的介电层沉积工艺中的铜表面预处理步骤;步骤S6,测试预处理后硅片中的铜层电阻并作为后值电阻;步骤S7,后值电阻与前值电阻的差值即为介电层沉积工艺对铜电阻的影响量。本发明操作简单,灵活性强,不但可以及时有效地进行晶圆的电性监控,还可以有效控制介电层沉积工艺的稳定性,而且最大化地避免介电层沉积工艺发生偏差时对产品的影响程度。
声明:
“离线监控介电层沉积工艺对铜电阻的影响的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 钨矿——工业之基,战争金属之王 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 金属材料在芯片工艺上的作用 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.185074s