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金刚石修整碟及其制造方法

1137   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:55
本发明公开了一种金刚石修整碟及其制造方法,属于化学机械研磨技术领域。所述金刚石修整碟,包括氮化硅陶瓷基底和微米金刚石薄膜,微米金刚石薄膜涂覆在氮化硅陶瓷基底表面;通过拉曼光谱仪进行测定,微米金刚石薄膜仅在1330‑1339cm‑1区间有一个尖锐峰;所述微米金刚石薄膜为SP3结构的金刚石多晶体。本发明的金刚石修整碟通过采用微米金刚石膜薄膜涂层,有效提高了修整碟的耐磨性,从能保证了尖点尖度的保持能力,对维持研磨垫的表面粗糙度有明显的优势,可以确保CMP制程中稳定的晶圆表面材料去除率和品质一致性。
声明:
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