合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 无损检测技术

> 基于激光感生热电电压的时间响应测量薄膜厚度的新方法

基于激光感生热电电压的时间响应测量薄膜厚度的新方法

1247   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:38
本发明提供一种可以获得外延(或者近似外延)生长在斜切衬底上的薄膜的厚度的无损测量新方法,这种方法采用脉冲宽度小于20ns紫外的短脉冲激光辐照薄膜,短脉冲激光作为一个瞬时热源加热外延薄膜表面,在垂直于薄膜表面的方向上产生温度梯度,然后在薄膜表面沿薄膜的斜切方向,探测由于温差所产生横向热电电压信号(称为LITV信号)随时间的衰减,得到LITV信号由峰值衰减到峰值的1/e时所需要的时间τd,基于τd的平方根与薄膜的厚度d的线性关系获得斜切衬底上薄膜的厚度测量值。
声明:
“基于激光感生热电电压的时间响应测量薄膜厚度的新方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
无损检测
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 金属百科 | 锑的历史与发展 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 小知识 | 金属钼了解一下 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 有色金属:六种战争金属性能详解 2025年锂电池行业十大变革性技术 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.122127s