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CPI测试结构及基于该结构的失效分析方法

969   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:29
本发明公开了一种CPI测试结构,包括:基底,其中形成有层间介电层;钝化层;设置在所述基底表面;顶层金属层,设置在所述钝化层下方;层间金属层,其包括贯穿所述层间介电层的层间互连结构,所述层间互连结构设置有首端和末端,所述首端和末端分别与顶层金属层电连接;所述层间互连结构还包括多个凸出端部,所述凸出端部延伸至顶层金属层并与顶层金属层电连接。本发明可节省失效分析过程中剥掉更多金属及介电层次所花的时间,提高失效分析效率。本发明还涉及一种基于该CPI测试结构的失效分析方法。
声明:
“CPI测试结构及基于该结构的失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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