合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 半导体结构失效分析方法

半导体结构失效分析方法

904   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:29
本发明提供一种半导体结构失效分析方法,所述方法至少包括:提供一半导体结构,所述半导体结构至少包括接地的有源区、第一绝缘层、金属互连结构、及第二绝缘层;检测出金属互连结构中的可疑失效区域;于所述可疑失效区域一侧切挖所述第一绝缘层和第二绝缘层,形成开口,填充与第二金属层电连的金属材料;采用电子束或离子束扫描所述半导体结构表面,若观察到所述可疑异常区域的二次电子图像中存在明暗亮度差异,该明暗亮度交界点即为失效点。本发明半导体结构的失效分析方法通过在可疑异常区域一侧设置将有源区和第二金属层连接的金属结构,使该侧的第二金属层接地,从而使可疑失效区域两侧的第二金属层的电势不同,进行电子束或离子束扫描之后,可以精确定位失效点。
声明:
“半导体结构失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 金属百科 | 锑的历史与发展 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 钨矿——工业之基,战争金属之王 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域?
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.159107s