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新的全自动检测泵失效的方法

1116   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:30
本发明公开一种新的全自动检测泵失效的方法,其中,硅片是依次传送至工艺腔室中以进行制造过程,并且泵是用于为工艺腔室抽取一定的真空度,其特征在于,在上一片硅片在工艺腔室中结束制造后,下一片硅片还没有进入工艺腔室前,增加泵的底压检测的步骤,用于检测位于工艺周期中的泵的底压状态。本发明一种新的全自动检测泵失效的方法,通过在工艺程式结束前增加设定特定的条件步骤,用来自动检测泵的底压,有效地实现泵的全自动底压检测,并防止由于泵失效产生的颗粒导致的硅片报废。从而避免人工停机人工检测所带来的资源消耗与机时的浪费,同时也解决传统的检测方法的频率太低所带来的产能风险。
声明:
“新的全自动检测泵失效的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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