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硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法

1089   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:36
一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法,属于硅晶圆线切割领域,主要包括1)水冲洗;2)酸液浸泡;3)混合试剂浸泡;4)氧化剂浸泡;5)水养备用这五个步骤;解决了硅晶圆线切割液回收行业树脂失效后难复苏等问题。本发明引进的强氧化剂NaClO将杂质中大分子有机物氧化成小分子有机物,在高速搅拌的情况下,使其更容易与树脂分离。由于接触时间短,温度控制合理,对树脂的本体及交换基团无损坏。本发明针对由金属离子、可溶性金属络合物、可溶性硅化物、有机物等引起的离子交换树脂失效,复苏后离子交换能力均能明显恢复。通过实验检测和现场实践,复苏后离子交换树脂,其性能未发生改变,交换容量基本达到新树脂的水平。
声明:
“硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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