合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置

用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置

1013   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:06
本发明提供一种用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置,该晶圆检测集成装置包括框架结构以及固定集成在框架结构上的用于检测晶圆的光源、分光器、传感器等部件。上述部件在框架结构上以预定的角度安装,该预定角度使得每一个传感器均能够接收光源发出光柱。本发明将上述各部件集成到一个框架结构上,然后以集成的形式安装至SMIF装载通道的通口处,这样的集成方式便于上述各部件在SMIF通道装置上的安装。并且上述各部件的设置使得各传感器能够准确接收光源发出的光柱,不会因为SMIF的运行过程中的振动而发生位移偏离,能够始终保证传感器的灵敏度。如果传感器失效,只需更换新的晶圆检测集成装置,SMIF系统无需长时间停机,提高生产效率。
声明:
“用于SMIF装载通道的晶圆检测集成装置及SMIF装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 小知识 | 金属钼了解一下 2025年锂电池行业十大变革性技术 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.133900s