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基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:07
本发明公开了一种基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法，包括：对小样本失效数据进行处理，所述处理包括数据清洗与特征提取，数据集成与变换；建立基于确定分布、大样本、多源信息的可靠性评估模型，根据可靠性评估模型进行数据可靠性评估；基于时效性和有效性下数据的健康状态评估，根据评估结果进行预防性维修决策；基于深度学习进行数据的特征提取、基于深度置信网络进行特征诊断、基于诊断结果进行预测性状态维修决策；本发明能够提高维修效率，节约维修资源。
声明：
“基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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