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去除多晶硅中硼的方法

862   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:59
本发明公开了一种去除多晶硅中硼的方法,包括:将工业硅熔融后从反应坩埚顶部喷洒而下,将混合气体从下往上输送与熔融的工业硅接触反应,同时将反应后的气体及时抽去;所述混合气体由载气和氧化性气体组成,所述氧化性气体为氢气、水蒸气和氧气中的一种或多种。本发明改变传统直接将氧化性气体通入硅液的方法,而是将硅液通过喷洒自由落下,而氧化性气体从底部向上输送,两者在中间位置接触反应,增加接触面积,提高了硼等非挥发性元素的去除效率。
声明:
“去除多晶硅中硼的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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