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多晶硅铸锭用提纯炉

902   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:27
本实用新型提出了一种多晶硅铸锭用提纯炉，包括：导热筒体；导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极；螺旋盘管式加热电极外套有炉体；炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；导热筒体内设置有坩埚；炉体外壁上设置有抽真空装置；离心装置设于炉体下方，并与坩埚通过离心装置的主轴固定连接。本实用新型中导热筒体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得炉体内温度均匀，节省导热筒体空间，提高空间利用率；通过采用离心装置对多晶硅进行提纯，提高了晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。实验结果表明，采用本实用新型的提纯炉得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。
声明：
“多晶硅铸锭用提纯炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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