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铝钛铌三元合金靶材及其制备方法

915   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:45:27
一种钛铌合金靶材及其制备方法,该铝钛铌靶材由以下原子百分比的原料制成:铝50%~75%;钛25~40%;铌0.5~25%。本发明还包括铝钛铌合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝、钛、铌之间原子扩散实现冶金结合,在温度和压力的共同作用下,获得致密度高的铝钛铌三元合金靶材,是一种短流程、易操作的粉末冶金靶材生产过程。
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