权利要求
1.尾气等离子处理吸收设备，包括依次连接的等离子高温反应装置（1）、冷却降温装置（2）和氮氧化物吸附装置（3a），其特征在于：所述冷却降温装置（2）包括外壳（21）和在所述外壳（21）内竖直设置的若干通气列管（22），所述通气列管（22）的内外侧互不连通，所述通气列管（22）的上口连通所述等离子高温反应装置（1）的内腔，所述通气列管（22）的下口连通一个能从下部打开的灰尘清理腔（23），所述灰尘清理腔（23）的侧壁连通所述氮氧化物吸附装置（3a）的下部进口，所述外壳（21）上设有进水口（211）和出水口（212），所述进水口（211）和所述出水口（212）之间连接有冷却水循环装置（4）。2.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述等离子高温反应装置（1）的顶部设有多个进气管口（11）。 3.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述等离子高温反应装置（1）的侧壁具有隔热层（12）。 4.根据权利要求1所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述灰尘清理腔（23）的出口通过一个三通切换阀（5）同时连接两个氮氧化物吸附装置（3a、3b）。 5.根据权利要求4所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：两个所述氮氧化物吸附装置（3a、3b）的上出口汇于同一个排气口，所述排气口上设置有气体检测装置（6）。 6.根据权利要求1或4所述的尾气等离子处理吸收设备，其特征在于：所述氮氧化物吸附装置（3a）内设有滤网（31），所述滤网（31）将所述氮氧化物吸附装置（3a）的内腔分隔为下部的缓冲腔（32）和上部的填料腔，所述填料腔内设置有吸附填料（33）。
说明书
尾气等离子处理吸收设备
技术领域
本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，特别涉及一种尾气等离子处理吸收设备。
背景技术
半导体、太阳能、液晶面板、LED等行业工厂在生产制造过程中会使用到很多种类的电子气体，这些气体中大多都是有毒有害的危险气体。这些有毒有害的气体在生产工艺过程中有些会被利用到，还有一些残余的气体需要排放。因这些气体都是高危险气体，有些具有腐蚀性，有些具有易燃易爆性等，故需要在车间内靠近主设备的地方做及时处理，以最大限度地降低生产安全风险。
现在常见的
声明：
“尾气等离子处理吸收设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：星烁（苏州）电子科技有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
