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多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造和使用方法

1512 编辑：管理员来源：北方有色网

2023-03-18 15:00:02

一种多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造方法和使用方法。该气体吸收元件，是在陶瓷支撑体上沉积一层气体吸收层，在气体吸收层上覆盖一层催化层，陶瓷支撑体内部含有加热层，气体吸收层的组成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、 Nd、Nb、Hf和Fe中的至少两种材料，催化层为催化金属的合金薄膜，其含有Pd，和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一种，以及La、Y、Ce和Nb中的一种稀土元素或它们的混合物，其中，La、Y可以是单质或是其氧化物。陶瓷支撑体为烧结后陶瓷多孔支撑体，其比表面积大于 1m2/g。催化层的上面设有多孔气体透过网，在该吸收元件的外周设有封装外壳。采用烧结方法制备陶瓷多孔支撑体；采用共蒸发方法沉积形成气体吸收层薄膜；采用共溅射沉积法使气体吸收层薄膜上覆盖催化层合金薄膜。该气体吸收元件能够在低温激活，是性能稳定的微型吸气剂元件。

声明：

“多层膜结构的薄膜气体吸收元件及其制造和使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。

我是此专利(论文)的发明人(作者)