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控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法

1140   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:02
本发明公开了一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法,将混合粉体通过冷等静压成形,并进行高温真空脱气处理,再以吸氧性金属箔材隔离毛坯和石墨模具,经真空热压烧结得到钨硅靶材。该方法有助于钨硅靶材中易挥发非金属元素的脱除,有效地控制了钨硅靶材中的非金属元素含量,具有可操作性强、成本低的特点。
声明:
“控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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