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透明陶瓷微流控芯片及其制备方法

574   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:03
本发明公开了一种透明陶瓷微流控芯片及其制备方法，所述微流控芯片的基体为透明陶瓷，所述透明陶瓷的中间平面还设置有可吸收激光的物质或相成分，所述微流控芯片的微通道采用激光聚焦刻蚀加工法构建。步骤S1：选定物质或相成分；步骤S2：称量、球磨、烘干并过筛得到原料粉体一；步骤S3：称量、球磨、烘干并过筛得到原料粉体二；步骤S4：获得密实的陶瓷坯体；步骤S5：将所述陶瓷坯体放置于马弗炉中进行保温，得到陶瓷素坯；步骤S6：烧结，得到透明陶瓷；步骤S7：将所述透明陶瓷进行表面抛光处理后，进行激光聚焦刻蚀加工，激光聚焦于透明陶瓷的中间平面，所述中间平面的物质或相成分可吸收激光实现刻蚀加工，获得微通道构型的透明陶瓷微流控芯片。
声明：
“透明陶瓷微流控芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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