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铝铬合金靶材的制备工艺及其应用

1066   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:03
本发明属于靶材制备技术领域,特别涉及一种铬合金靶材的制备工艺及其应用,靶材制备工艺包括步骤S1:合金粉末制备;步骤S2:将制备好的合金粉末装入包套中,通过螺栓和螺母固定方式将包套的左右两半块拼合固定,进行冷等静压处理;步骤S3:对合金靶材坯料进行第一次脱气处理;步骤S4:将步骤S3形成的合金靶材坯料进行第一次热等静压处理,并进行第二次脱气处理后取出包套;步骤S5:对第二次脱气处理后的料坯装入包套,进行第二次热等静压处理;步骤S6:对第二次热等静压处理的料坯取出包套,进行机加工和清洗处理,并进行真空热处理;步骤S7:在步骤S6获得的合金靶材表面修饰防腐层和隔热层。本申请致密性高,晶粒均匀,具有较好的机械性能。
声明:
“铝铬合金靶材的制备工艺及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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