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掩膜模具及其制备三维结构的方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本发明涉及一种掩膜模具及其制备三维结构的方法。本发明的掩膜模具主要由衬底（1）、模具结构层（2）、掩膜层（3）构成，所述衬底（1）具有透光性，所述掩膜层（3）具有遮光性，所述掩膜层（3）的全部图案或部分图案与所述模具结构层（2）的全部图案或部分图案相同或相似。使用掩膜模具制备三维结构的方法包括以下步骤：一是在掩膜模具的模具结构层（2）内填充光固化材料或光固化材料与其他材料的混合材料，二是曝光，使所述光固化材料或光固化材料与其他材料的混合材料固化，三是使所述的已固化的光固化材料或光固化材料与其他材料的混合材料从掩膜模具中脱离。本发明实现对成型材料的选择性固化，有效扩大了应用范围。
声明：
“掩膜模具及其制备三维结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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