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新型晶体管的制作方法

1671   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-02 00:30:08
本本发明提供一种新型晶体管的制作方法,将具有介电、铁电、光电、热电、超导、巨磁阻等性能的钙钛矿结构氧化物材料交叉耦合,采用全外延工艺,每层的层厚和载流子浓度都较锗硅晶体管更易控制,结面更锐,加上钙钛矿结构氧化物材料熔点高,稳定性好,钙钛矿结构氧化物晶体管广泛应用于电子器件,尤其是与酸镧相关的晶体管对磁场很敏感,与钛酸钡相关的晶体管对热光敏感,因此可制作一些特殊的探测器,也可发展成为钙钛矿结构氧化物集成电路。
声明:
“新型晶体管的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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