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曝光装置、曝光法和器件制造法

937   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-03 00:30:14
在掩模台(RST)上固定一个其上形成有至少一个针孔状图案的基准板(RFM),掩模台(RST)上固持地移动掩模(R)。因此,例如可以不用任何特殊类型的测量用掩模,通过把连结型波前测量仪(80)设置到衬底台(WST)上、利用照明系统(IOP)照射基准板并利用波前测量仪接收通过投影光学系统在针孔状图案处产生的球面波,来测量投影光学系统(PL)的波前象差。因此,可以以理想的计时很容易地测量投影光学系统的波前象差,这使得能够对投影光学系统进行充分地质量控制。因此,可以利用进行了充分地质量控制的投影光学系统把掩模图案精确地转印到衬底上。
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“曝光装置、曝光法和器件制造法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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