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立式大型化学气相沉积炉的分布式加热系统

822   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:25
本实用新型属于C/C复合材料的生产领域，具体公开一种立式大型化学气相沉积炉的分布式加热系统，包括中心加热器和周边加热器，在沉积室中心设有竖直设置的中心加热器，在沉积室的侧壁上沿沉积室的轴向间隔设置有若干个加热单元，每个加热单元分别包括沿沉积室的周向间隔设置的若干个周边加热器，每个中心加热器和周边加热器分别对应设置有热电偶、温控器和电源，工作时，待处理产品摆放在中心加热器和周边加热器之间的环形均温区域内，产品各面均匀受热，从根本上解决沉积室内温度不均匀的问题，且每个加热器独立安装，可以降低对制造精度的要求，从而降低制造成本，加热器之间相互独立，没有连接、配合关系，安装更容易，维护更方便。
声明：
“立式大型化学气相沉积炉的分布式加热系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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