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铌酸锂单面抛光片背面不良的返工方法

928   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 22:15:33
本发明公开了一种铌酸单面抛光片背面不良的返工方法,包括如下步骤:将铌酸锂单面抛光片进行检验,将检验出背面不良的晶片进行标记;将标记的晶片放入碱性清洗液中超声清洗;将清洗后的晶片抛光面进行贴膜;将两片贴膜后晶片的贴膜面粘合,获得粘合工件;将粘合工件进行双面研磨;将研磨后的粘合工件清洗并脱膜。本发明通过工艺改进,提高产品良品率,返工后的单面抛光片具有背面粗糙度一致性好、平坦度指标高、加工效率高、生产成本低、工艺易实现和易监控等特点,能够满足产业化大规模批生产的要求。
声明:
“铌酸锂单面抛光片背面不良的返工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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