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废旧晶圆的再生方法

670   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:50
本发明提供了一种废旧晶圆的再生方法，所述再生方法包括以下步骤：(1)挑选可再生不良晶圆，使用混合酸对所述不良晶圆进行腐蚀；(2)对步骤(1)腐蚀后的晶圆进行碱洗和水洗；(3)对步骤(2)水洗后的晶圆进行抛光处理，经最终清洗后得到再生晶圆；其中，所述晶圆的材料包括钽酸锂和/或铌酸锂，本发明采用先酸腐蚀、碱洗、抛光后再药液清洗的方法对废旧晶圆进行再生可以去除芯片上的金属电路和一些光刻胶的残胶，同时避免晶圆表面的酸和残胶的残留，回收再生的晶圆可以实现直接应用，大大节约了生产成本。
声明：
“废旧晶圆的再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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