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光致抗蚀剂显影废水的处理方法

878   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 01:12:05
本发明涉及一种光致抗蚀剂显影废水的处理方法,其使用RO装置,无须用碱剂来中和RO透过水,可防止或者抑制因粘泥引起的RO膜的阻塞,且可获得良好水质的RO膜透过水。其无须对光致抗蚀剂显影废水进行pH值调整,在与阳离子交换树脂接触后,通过MF膜装置等进行除浊处理,接着向逆渗透膜装置通水,获得膜透过水。
声明:
“光致抗蚀剂显影废水的处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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