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废气处理装置以及气相沉积设备

902   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 04:41:31
本申请涉及光伏技术领域,具体而言,涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。废气处理装置包括壳体,壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端,壳体具有内腔;内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔;第二导气腔沿第一方向的相对两端具有上游口和下游口,第一导气腔通过上游口与第二导气腔连通,第三导气腔通过下游口与第二导气腔连通;第一端设置有与第三导气腔连通的出气口;壳体设置有与第一导气腔连通的进气口,进气口与第二端之间的距离大于零;以及过滤元件,过滤元件设置于第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔中的至少一个的内部。本申请的废气处理装置能够有效减少废气中含有的固体颗粒,避免堵塞排气泵。
声明:
“废气处理装置以及气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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