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物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法

1264   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 04:46:54
本发明公开了一种物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法,包括以下步骤:A1、将废硅片切割液用去离子水稀释至含水量50%,搅拌均匀,进行固液分离;A2、将步骤A1分离下来的固体物料按照溢流罐实际装填量装入溢流罐,稀释至含水量50%,同时启动超声波换能器机组、搅拌装置;充分搅拌均匀后停止搅拌,超声波换能器机组继续运行直到把所有晶硅粉溢流完毕方可停机;超声波换能器机组运行过程中,打开溢流罐进水阀,进行溢流;A3、溢流罐1中沉淀下来的碳化硅微粉进入甩干机,进入闪蒸式干燥机烘干,再经过超声波振动筛将大颗粒筛掉,包装后即可得到成品碳化硅微粉。加工、操作、控制、使用的简便,环境污染的治理或根治。
声明:
“物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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