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一种光刻胶返工去胶刷片机

738   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:13:02
本发明公开了一种光刻胶返工去胶刷片机,包括机箱与位于所述机箱上的第一清洗组件;所述机箱上设置有料仓与移料组件,所述第一清洗组件包括容纳盒体、位于所述容纳盒体上方开口位置处的喷淋杆以及位于所述容纳盒体内的载料台,所述喷淋杆上设有喷淋口,所述载料台上设置有吸盘。本发明在机箱、第一清洗组件、料仓以及移料组件的配合作用下,实现了对蓝宝石晶片的快速清洗,大大减少了丙酮溶液的消耗,并且无需采用浓硫酸对晶片作进一步处理,减少了成本的消耗,减少了危化品废液的产生,更为环保,同时还能够保证晶片清洗后的品质稳定性。
声明:
“一种光刻胶返工去胶刷片机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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