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检测化学气相沉积薄膜小微粒的方法

1220   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:42:49
本发明公开了一种检测化学气相淀积薄膜小微粒的方法,至少包含以下步骤:步骤1、准备晶圆基材;步骤2、在晶圆基材上沉积金属;步骤3、在沉积金属上沉积化学气相淀积薄膜;步骤4、开始刻蚀过程;步骤5、利用表面扫描工具扫描化学气相淀积薄膜的缺陷。本发明能够检测到PECVD薄膜的小微粒,降低废料风险。
声明:
“检测化学气相沉积薄膜小微粒的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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