合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 制造半导体元件的方法及其化学机械抛光系统

制造半导体元件的方法及其化学机械抛光系统

774   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:46
制造半导体元件的方法,包括在半导体衬底上形成第一层,提供由第一组份和第二组份组成的混合物,光学检测混合物中第一组份的浓度,并将混合物涂在第一层上。本方法使用的化学机械抛光(CMP)系统(100)包括导管(110),它具有第一输入端(111)、CMP研磨剂输出端(113)和CMP研磨剂感应端(114)。CMP系统还包括位于CMP研磨剂感应端附近的折射计(150)。
声明:
“制造半导体元件的方法及其化学机械抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 小知识 | 金属钼了解一下 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 有色金属:六种战争金属性能详解 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.227932s