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使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体

926   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:23:25
提供了一种定量监测在化学工艺中气相材料的方法,其包括提供含一种或多种所关注的反应物气体的气体进料物流;使气体进料物流暴露于拉曼光谱装置的相干辐射;获得在气体进料物流内的每种气体组分的拉曼光谱信号;分析该光谱信号以确定每种气体组分的存在和浓度;和显示分析的结果。在一个实施方案中,该方法用于定量监测在生产高纯度硅工艺中的气相材料。
声明:
“使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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