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基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法

1073   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:13:36
本发明公开了一种基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法,本发明所述的基于光弹性原理的柔性微探针为以SU-8胶为材料的整体结构,包括微探针受力端和微探针基体,所述微探针基体包括基体端部和基体尾部,所述基体端部和微探针受力端设置于基体尾部的同一侧,形成微探针结构,通过测量透过柔性铰链应力测量区与测量光路的偏振光光强改变量,建立起与微探针受力端处所受力的大小的关系,即可实现微力的测量。本发明以SU-8胶为微探针材料,加工工艺成本低、稳定性强,具有抗化学腐蚀性、良好的力学性能和生物兼容性、光应力系数大等优点。并且本发明为整体结构,无需装配,制作简单,有助于实现生物医学、材料化学等领域微操作技术的实用化。
声明:
“基于光弹性原理的柔性微探针及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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