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荷叶类金刚石膜的镀膜工艺

1272   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 01:00:02
一种制备荷叶类金刚石膜的镀膜技术,该技术以等离子全方位离子沉积设备为依托,将八氟环丁烷、一甲基硅烷、二甲基硅烷等气体输入到真空罐内,通过等离子增强化学气相沉积方法在工件表面镀荷叶类金刚石膜。镀膜主要包括等离子清洗、等离子渗氮、过渡层镀膜、类金刚石镀膜、荷叶膜镀膜等五个步骤。荷叶类金刚石膜具有很高的硬度,由于和荷叶表面有着类似的构造因此具有极低的表面能,鉴于荷叶类金刚石膜的高耐磨和疏水性能,它可以成功应用在煤矿筛网、金属模具、航空航天飞行器机翼、输油管道等领域。
声明:
“荷叶类金刚石膜的镀膜工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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