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基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法

1100   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:34
本发明公开了一种基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法,包括:基于红外激光器照射待测电路样品,获取所述待测电路样品的扫描数据;基于红外相机对所述待测电路样品进行拍照,获取电路布局图;将所述扫描数据与所述电路布局图进行对照,获得失效定位点。本发明解决了集成电路阻性失效的失效点定位问题,实现了集成电路阻性失效和晶体管栅极破损的精确、快速定位。提高了集成电路失效定位的测试效率和定位精度,为集成电路失效分析的研究提供了技术支持。
声明:
“基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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