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TSV结构电击穿寿命测试方法、装置、系统和控制设备

1261   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:19
本申请涉及一种TSV结构电击穿寿命测试方法、装置、系统和控制设备;所述方法包括在第一个温度循环周期内,通过信号采集设备采集待测TSV矩阵晶圆样品在初始电压下的初始漏电流;第一个温度循环周期为控制温度调节设备调节待测TSV矩阵晶圆样品的测试环境温度循环变化的第一个周期;在初始漏电流小于或等于预设值时,控制电源设备以初始电压为起点逐渐增大施加在待测TSV矩阵晶圆样品上的电压,并通过信号采集设备实时采集待测TSV矩阵晶圆样品的当前漏电流;在当前漏电流满足失效判据时,获取电源设备调节电压的总时长,并将总时长确认为待测TSV矩阵晶圆样品的失效时间,实现高效准确地测试TSV结构的寿命性能,实现高效准确地测试TSV结构的电击穿可靠性。
声明:
“TSV结构电击穿寿命测试方法、装置、系统和控制设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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