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基于微机电系统技术的硅电容真空传感器

881   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:20:07
一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器,涉及微机电系统(MEMS)传感器和真空传感器制造领域,包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘,真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极板间形成的密封腔,真空腔内设计有绝缘支撑柱阵列,所述绝缘支撑柱的顶端面与上极板间留有空隙。本发明能有效测量高真空度、覆盖真空度范围大、制作工艺简单,有效解决现有技术的微型电容薄膜传感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放气等问题。
声明:
“基于微机电系统技术的硅电容真空传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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